非接觸式靜電計(jì)介紹與應(yīng)用
 

　　傳統(tǒng)非接觸式靜電測(cè)試儀包括電極式、振動(dòng)電容式、場(chǎng)磨式等。其中，電極式靜電儀直接通過(guò)電路對(duì)單一感應(yīng)電極上的電荷信號(hào)進(jìn)行放大、AD采樣，由于電荷信號(hào)容易在電路中衰減，該靜電儀零點(diǎn)漂移大，需經(jīng)常調(diào)零，使用不便。振動(dòng)電容式、場(chǎng)磨式靜電儀通過(guò)振動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)制感應(yīng)電極上的感應(yīng)電荷，測(cè)量帶電體附近的電場(chǎng)強(qiáng)度，反演帶電體的靜電電壓，避免了感應(yīng)電荷衰減。然而，這些靜電測(cè)試儀普遍將傳感器敏感芯片裸露在外，這些裸露可動(dòng)單元容易在粉塵等惡劣環(huán)境中損壞，也容易因自身摩擦或與外界碰撞產(chǎn)生電火花，造成安全隱患。
 

　　傳統(tǒng)非接觸式靜電測(cè)試儀包括電極式、振動(dòng)電容式、場(chǎng)磨式等。其中，電極式靜電儀直接通過(guò)電路對(duì)單一感應(yīng)電極上的電荷信號(hào)進(jìn)行放大、AD采樣，由于電荷信號(hào)容易在電路中衰減，該靜電儀零點(diǎn)漂移大，需經(jīng)常調(diào)零，使用不便。振動(dòng)電容式、場(chǎng)磨式靜電儀通過(guò)振動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)制感應(yīng)電極上的感應(yīng)電荷，測(cè)量帶電體附近的電場(chǎng)強(qiáng)度，反演帶電體的靜電電壓，避免了感應(yīng)電荷衰減。然而，這些靜電測(cè)試儀普遍將傳感器敏感芯片裸露在外，這些裸露可動(dòng)單元容易在粉塵等惡劣環(huán)境中損壞，也容易因自身摩擦或與外界碰撞產(chǎn)生電火花，造成安全隱患。靜電危害是科技和生產(chǎn)活動(dòng)中的一個(gè)重大安全隱患。不同物質(zhì)間接觸、分離后即可產(chǎn)生靜電，由于其產(chǎn)生簡(jiǎn)單、不易發(fā)覺，稍有不慎就可能釀成重大事故。
 

　　據(jù)統(tǒng)計(jì)，美國(guó)電子行業(yè)部門每年因靜電危害造成損失高達(dá)100億美元，英國(guó)電子產(chǎn)品每年因靜電造成的損失為20億英鎊，日本電子元器件的不合格品中不少于45%的危害是因?yàn)殪o電放電(ESD)造成的。靜電放電可能點(diǎn)燃某些易燃物體而發(fā)生爆炸。例如，在石油石化領(lǐng)域，人體或設(shè)備攜帶靜電容易引燃油品揮發(fā)出的氣體，油品、粉體在儲(chǔ)運(yùn)過(guò)程中與周圍容器發(fā)生摩擦，也容易產(chǎn)生大量靜電。
 

　　在工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域，氫氣、乙炔、瓦斯等易燃易爆氣體，煤粉、鋁粉、面粉等粉塵，都有可能因靜電火花引起爆炸。在電子工業(yè)領(lǐng)域，一般MOS電路和場(chǎng)效應(yīng)管擊穿電壓約為300V，然而在干燥季節(jié)人體靜電可達(dá)數(shù)萬(wàn)伏，極易損傷甚至損壞半導(dǎo)體器件，從而導(dǎo)致設(shè)備故障。