鐵電薄膜鐵電性能的測量方法

1、電滯回線測量

進(jìn)行電滯回線測量時圖中電源U提供三角波，頻率和幅度由用戶通過軟件設(shè)定，頻率范為10Hz到10kHz，幅度范圍為0到±10V。

通過參數(shù)和樣品的厚度、尺寸參數(shù)很容易通過如下公式計(jì)算出鐵電薄膜樣品的線性電容Cef和線性介電常數(shù)Kef。

Cef=Q/V = (P^ *Area)/Emax      

Kef =( Cef * Thickness)/(% * Area) 

2、漏電流測量（電阻測量）

電源U提供0.5秒的直流電壓給被測樣品，電壓值由用戶設(shè)定，樣品的漏電流通過電流放大和積分后的輸出電壓Uy正比廠樣品的漏電流I，再通過如下公式可計(jì)筇出樣品的漏電導(dǎo)率。

H = V/I;                   

S = Thickness/( R * Area); 

3、鐵電疲勞性能測量

鐵電疲勞性能是鐵電薄膜材料的yong久極化與開關(guān)次數(shù)關(guān)系Pr?n。測試過程屮隨著開關(guān)次數(shù)增加 Pr逐漸減小，當(dāng)Pr小到一定值時±Pr將不能分開,即1、0不能分開，此時即失去記憶性能，稱為疲勞, 它是與鐵電存儲器密切相關(guān)的一個參數(shù)。

4、保持特性測量

鐵電保持性能是鐵電薄膜材料的yong久極化與時間關(guān)系Pr?t，它是鐵電存儲器使用可靠性的一個參數(shù)。